第91章 再现工程控制论！

请关闭浏览器的阅读/畅读/小说模式并且关闭广告屏蔽过滤功能，避免出现内容无法显示或者段落错乱。

同时极紫外光刻机的光路系统要求考虑的因素非常多，因为极紫外光刻机的光子能量非常高，几乎所有的材料都会吸收极紫外光。

而吸收了极紫外光必然会发热，发热就会带来材料的变形。对于需要纳米级成像的光刻机来说，简直就是灾难，基本就无法使用了。

如果不加控制，光路系统还有被烧毁的风险。

所以极紫外光刻机里，光源和每一面镜子的背后都有非常高效的冷却装置，把极紫外光照射产生的热量及时带走。

最后，光刻机研发真正困难的是成像质量补偿。光刻机对光刻图形的要求是近乎完美的，但设备的生产是不可能做到完美的，镜头使用的材料不可能做到完美。

镜头打磨不可能做到完美，镜头组装也不可能做到完美。同时镜头材料和支撑材料都必然存在热胀冷缩的问题。

这些问题都会给最终成

本章未完，请点击下一章继续阅读！若浏览器显示没有新章节了，请尝试点击右上角↗️或右下角↘️的菜单，退出阅读模式即可，谢谢！